GU型高真空（壓力）球閥操作應用案例

GU型高真空（壓力）球閥操作應用案例

GU型高真空（壓力）球閥用于接通或切斷真空（壓力）系統(tǒng)管路中的介質流。應用于真空、乳制品、酒業(yè)、生物工程、食品、制藥、飲料、化妝品及化工領域。真空閥門是指在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件，是指工作壓力低于標準大氣壓的閥門。真空閥門關閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。

在半導體領域內，主要的應用有鏈接大氣和腔室之間的門閥，腔室之間的傳輸閥，腔室和泵之間的插板閥或者擺閥。

法蘭連接是高真空閥門最常見的連接方式，法蘭主要有三種，CF法蘭、KF法蘭、ISO法蘭，對應的閥門一般稱作CF高真空閥門、KF法蘭閥門、ISO法蘭閥門。那么它們之間又有什么區(qū)別呢？



1、CF真空法蘭

CF法蘭的英文名是（ConflatFlang）。它是一種用于超高真空中的法蘭連接，是一種金屬靜密封，可以承受高溫烘烤的真空法蘭。

公稱直徑尺寸包括：DN16、40、63、100、160、200、250

適用的真空度高達：10-12mbar

法蘭密封材料通常為Viton、PTFE、無氧銅等

法蘭通常為304、316不銹鋼等。

2、ISO-KF真空法蘭：

ISO-KF是應用在真空系統(tǒng)中的一種快卸法蘭。他由以下幾個元件構成：兩個成對稱分布的KF法蘭、O-Ring、定心支架、卡箍。勿需使用別的工具，只要簡單地用手擰動碟形螺母就可以松開或壓緊聯(lián)接。

ISO-KF真空接頭是小尺寸的快裝法蘭接頭，公稱直徑尺寸包括：DN10, 16, 25, 40， 50。

制造標準包括：DIN28403，ISO2861

適用的真空度高達：10-8mbar。

法蘭密封材料通常為：Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、鋁等

法蘭通常為：304、316不銹鋼等

ISO-KF 真空接頭通常由法蘭（flang）、快夾（clamp）、密封圈（O-Ring）、中心定位環(huán)（centeringring）組成。

3、ISO真空法蘭：

ISO法蘭和配管可用于從大氣壓到高真空，經常裝拆的各種應用中。一般管子的直徑超過50mm(2英寸)。如果使用氟橡膠O形圈，可以承受150℃烘烤。

ISO-K和ISO-F真空接頭是大尺寸的真空接頭，公稱直徑尺寸包括：DN63、100、160、200、250、320、400、500 和630。

ISO法蘭常用的兩種形式是ISO-K和ISO-F。

制造標準包括：DIN28404 ，ISO 1609

可應用在要求真空度高達10-8mbar的場合

法蘭密封材料通常為Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、鋁絲等

法蘭通常為304、316不銹鋼等

A、ISO-K真空接頭通常由法蘭（flang）、法蘭爪（clamp）、密封圈（O-Ring）、中心定位環(huán)（centeringring）組成。

B、ISO-F真空接頭通常由法蘭（flang）、密封圈（O-Ring）、中心定位環(huán)（centeringring）組成，與ISO-K不同的地方是法蘭用螺栓堅固。

4 、NW系列：

NW同樣是用在高真空系統(tǒng)中的真空配件，是日本的規(guī)范，所以NW的真空配件在日企或者日本設備里面用到的相對來說多一些。前面我們說過，ISO系列的是兩片ISO的法蘭片和四個雙卡鉤進行連接，而NW的鏈接方式是兩片NW的法蘭在一起，用鏈式卡箍進行連接(N63的法蘭外觀上就是大一號的NW50的法蘭)。




GU型高真空（壓力）球閥操作應用案例高真空球閥的特點

1. 優(yōu)異的密封性能

• 真空密封采用金屬密封（如焊接金屬波紋管）或彈性密封（如氟橡膠、PTFE），在高真空下可實現(xiàn)零泄漏。




進口高真空球閥的結構組成

• 耐高真空

• 適用于10?1～10?? Pa的真空度，甚至更高的超高真空條件。

• 結構緊湊

• 閥體小巧，適合高真空系統(tǒng)的緊湊布局。

• 耐腐蝕性強

• 閥體多采用不銹鋼制造，能夠抵抗真空環(huán)境下腐蝕性氣體的影響。

• 操作靈活

• 可手動、電動或氣動控制，啟閉迅速。

• 低排氣率

• 材料經過特殊處理，減少閥體內表面和密封件的排氣量，提高真空系統(tǒng)穩(wěn)定性。

• 長壽命設計

• 使用壽命長，密封性能穩(wěn)定可靠，適合頻繁開關操作。

1. 閥體

• 通常采用不銹鋼材料，滿足高真空及腐蝕性介質的要求。

• 球體

• 精密加工的不銹鋼球體，確保高真空環(huán)境下的低摩擦和高密封性。

• 閥座

• 根據需求選用金屬密封或軟密封（如PTFE、氟橡膠）。

• 閥桿

• 防吹出設計，傳遞扭矩實現(xiàn)啟閉，采用真空密封設計。

• 密封件

• 金屬波紋管、彈性密封圈等材料，確保真空下的零泄漏。

• 驅動裝置

• 可選手動操作、電動執(zhí)行器或氣動執(zhí)行器，實現(xiàn)自動化控制。

• 接口類型

• 可配CF法蘭、KF法蘭、ISO法蘭或真空焊接接口，適應不同的真空系統(tǒng)。

  
  

• 

GU型高真空（壓力）球閥操作應用案例的工作原理

1. 啟閉控制

• 通過手柄、氣動或電動執(zhí)行器驅動閥桿，旋轉球體90°實現(xiàn)管路的啟閉控制。

• 密封保持

• 在關閉狀態(tài)，球體與閥座貼合，配合真空密封件，阻止真空泄漏。

• 全開狀態(tài)

• 球體流道與管道流道對齊，確保氣流暢通，保持真空系統(tǒng)的高效運行。

GU型高真空（壓力）球閥操作應用案例的優(yōu)點

1. 適用范圍廣

• 能滿足高真空、超高真空以及少量正壓工況。

• 密封可靠性高

• 真空密封技術確保零泄漏，保障系統(tǒng)穩(wěn)定性。

• 耐用性強

• 經過拋光處理和真空脫氣處理的部件，能長期工作在高真空環(huán)境。

• 操作便捷

• 手動和自動化控制選擇靈活，滿足不同真空系統(tǒng)需求。

• 低維護成本

• 高精度制造與優(yōu)質材料，減少了長期維護的頻率和成本。

進口高真空球閥的應用領域

1. 半導體制造

• 適用于真空鍍膜設備、刻蝕機等高真空環(huán)境。

• 光電行業(yè)

• 用于真空光學設備、激光真空系統(tǒng)。

• 科研實驗室

• 真空實驗設備中的流量切斷或切換控制。

• 航天領域

• 用于航天器真空測試系統(tǒng)和模擬高真空條件。

• 精密制造

• 涉及真空封裝和真空熱處理的設備。

• 核工業(yè)

• 高真空系統(tǒng)中的流體控制和安全切斷。

• 

GU型高真空（壓力）球閥操作應用案例的選型要點

1. 真空度要求

• 根據系統(tǒng)要求選擇適應的真空范圍（如高真空或超高真空）。

• 密封形式

• 金屬密封：適用于高溫、超高真空等苛刻工況。

• 軟密封：適用于中低真空系統(tǒng)，性價比高。

• 材質選擇

• 通常選擇304、316L不銹鋼，必要時選擇耐腐蝕合金。

• 接口方式

• 根據系統(tǒng)管路接口選擇CF、KF、ISO法蘭或真空焊接。

• 驅動方式

• 手動適合簡單系統(tǒng)，氣動或電動適用于自動化系統(tǒng)。

• 工作溫度

• 確保閥門材質和密封件耐高溫性能滿足實際工況需求。

GU型高真空（壓力）球閥操作應用案例的維護保養(yǎng)

1. 清潔保養(yǎng)

• 定期清理閥體內表面和球體，防止污染物影響密封性能。

• 潤滑處理

• 使用真空專用潤滑劑，減少球體與閥座的磨損。

• 密封件更換

• 發(fā)現(xiàn)密封件老化或損壞時，及時更換以確保真空度。

• 表面防腐

• 閥門外表面需定期清潔，以防腐蝕性氣體導致的損壞。

• 動作檢查

• 定期測試閥門啟閉靈活性，確保球體、閥桿運行正常。

GU型高真空（壓力）球閥操作應用案例總結

進口高真空球閥是高真空系統(tǒng)中的關鍵部件，其優(yōu)異的密封性、耐高真空性能和適應性，使其能夠滿足多種工業(yè)及科研領域的應用需求。合理選型和科學維護，可顯著提升真空系統(tǒng)的效率與安全性。



GU型高真空（壓力）球閥主要技術性能

閥門漏率：	≤1.3x10-5 Pa.L/S
適用溫度：	-30~+150℃
	-30~+300℃(PPL密封）
適用范圍：
連接型式	使用壓力范圍(Pa)
活套法蘭(GB6070)	0.6x106-6.7x10-5
焊接法蘭(GB6070)	1.6x106-6.7x10-5
快卸法蘭(GB4982/ISO-KF)	105-6.7x10-5
螺紋連接	1.6x106-6.7x10-5
安裝狀態(tài):	任意

主要零件材料

閥體、球芯、閥桿：	不銹鋼
密封件：	四氟乙烯、氟橡膠、PPL.













GU型高真空(壓力)球閥外形及連接尺寸(mm)

  



螺紋連接的外形及連接尺寸(圖一)

Model	DN	G	H	E	L
型號
GU-10(G)	10	1/4"	52	105	68
GU-16(G)	16	1/2"	64	130	72
GU-20(G)	20	3/4"	67	130	82
GU-25(G)	25	1"	83	165	90
GU-32(G)	32	1-1/4"	89	165	112
GU-40(G)	40	1-1/2"	100	190	120
GU-50(G)	50	2"	125	190	145
GU-63(G)	63	2-1/2"	150	250	185
GU-80(G)	80	3"	161	250	210

活套法蘭連接(GB6070)(圖二)

Model	DN	D	Do	H	E	L	n-φc
型號
GU-10(F)	10	55	40	52	105	84	4-φ6.6
GU-16(F)	16	60	45	64	130	84	4-φ6.6
GU-20(F)	20	65	50	67	130	114	4-φ6.6
GU-25(F)	25	70	55	83	165	114	4-φ6.6
GU-32(F)	32	90	70	89	165	140	4-φ9
GU-40(F)	40	100	80	100	190	160	4-φ9
GU-50(F)	50	110	90	125	190	170	4-φ9
GU-63(F)	63	130	110	150	250	195	4-φ9
GU-80(F)	80	145	125	161	250	220	8-φ9
GU-100(F)	100	165	145	180	280	280	8-φ9

快卸法蘭連接(GB4982)(圖三)

Model	DN	D1	D	H	E	L
型號
GU-10(KF)	10	12.2	30	52	105	84
GU-16(KF)	16	17.2	30	64	130	84
GU-25(KF)	25	26.2	40	83	165	114
GU-32(KF)	32	34.2	55	89	165	140
GU-40(KF)	40	41.2	55	100	190	160
GU-50(KF)	50	52.2	75	125	190	170

焊接式球閥外形及連接尺寸（圖四）

Model	DN	D	H	E	L
型號
GU-10H	10	17.5	52	105	94
GU-16H	16	22.7	64	130	104
GU-20H	20	30	67	130	114
GU-25H	25	33.5	83	165	114
GU-32H	32	42	89	165	140
GU-40H	40	48.5	100	190	160
GU-50H	50	60.5	125	190	170
GU-63H	63	76.5	150	250	195
GU-80H	80	90	161	250	203
GU-100H	100	106.5	180	280	280

球閥安裝全攻略：預備工作、詳細步驟及使用須知
在閥門行業(yè)中，球閥的安裝與使用是每位從業(yè)者必須掌握的技能。那么，如何正確安裝球閥？在安裝前又需做好哪些準備工作呢？同時，在使用過程中又有哪些事項需要我們特別留意呢？接下來，我們將為您一一解答這些問題，助您輕松掌握球閥的安裝與使用技巧。



GU型高真空（壓力）球閥操作應用案例安裝前的準備

1. 確保前后管道同軸，兩法蘭密封面平行。管道需能承受球閥重量，否則應配適當支撐。

2. 吹掃閥前后管線，清除油污、焊渣及其他雜質。

3. 核對球閥標志，確認完好無損。多次開關以驗證其性能。

4. 移除球閥兩端連接法蘭的保護件。

5. 檢查并清洗閥孔，確保無異物，以防損傷閥座密封面。

球閥安裝步驟

1. 將球閥裝上管線，注意任何一端都可裝在上游端。手柄驅動的球閥可任意位置安裝，但齒輪箱或氣動球閥應直立安裝，即驅動裝置在上方。

2. 在閥法蘭與管線法蘭間裝上密封墊，按管路設計要求進行。

3. 逐次、對稱、均勻地擰緊法蘭上的螺栓。

4. 若采用氣動驅動器，需連接氣動管線。

球閥安裝后檢查

1. 操作驅動器多次啟閉球閥，確保靈活無卡澀。

2. 按管路設計要求檢查管道與球閥間法蘭結合面的密封性能。

   
   

3. 

GU型高真空（壓力）球閥操作應用案例的使用注意事項

1. 拆卸分解前必須確認球閥上、下游管道已卸壓。

2. 清洗非金屬零件后應立即取出，避免長時間浸泡。

3. 裝配時螺栓需對稱、逐步、均勻地擰緊。

4. 使用與球閥中零件及工作介質相容的清洗劑。若工作介質為燃氣，可用汽油清洗金屬件，非金屬件用純凈水或酒精清洗。

5. 分解下來的零件可用浸洗方式清洗，金屬件可用浸漬有清洗劑的綢布擦洗，以確保去除所有油脂、污垢等。
   6、在分解和再裝配球閥時，必須格外小心，以免損傷任何零件的密封面，特別是非金屬零件。當取出O型圈時，建議使用專用工具以確保操作正確。

7、清洗完成后，需要等待被洗壁面的清洗劑揮發(fā)（可以用未浸清洗劑的綢布擦拭確認）。但請注意，清洗后的零件不得長時間擱置，以防生銹或被灰塵污染。

8、在裝配新零件之前，也必須確保它們已經清洗干凈。

9、潤滑是裝配過程中的一環(huán)。應使用與球閥金屬材料、橡膠件、塑料件及工作介質均相容的潤滑脂。例如，當工作介質為燃氣時，可以選擇特221潤滑脂。在密封件安裝槽、橡膠密封件以及閥桿的密封面和摩擦面上，都應涂抹一層薄潤滑脂。

10、裝配過程中，應確保零件表面上或內腔中沒有任何金屬碎屑、纖維、油脂（除非是規(guī)定使用的）、灰塵及其它雜質或異物，以避免污染或粘附。